전기응용기술사138회3교시 3번25점
반도체 제조 공정에서 정전기 방전(ESD) 파괴 모델 3가지(HBM, MM, CDM)의 다음 사항에 대하여 설명하시오.
- 각 모델별 특징
- 각 모델별 장해제어 대책
이 문제가 속한 주제
전력설비 보호·계통품질 › 접지 및 정전기 › 정전기 발생 메커니즘·방전 종류 및 ESD 모델
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